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    碳化硅陶瓷反應連接技術(shù)

    文章出處:粉體圈網(wǎng)責任編輯:作者:小吉人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-08-22 17:23:00【

    全封閉、中空部件的制備一般采用連接工藝獲得,目前常用的陶瓷連接方法主要有釬焊、擴散焊等,但這些方法均存在工藝復雜、焊接料性能同碳化硅基體差別大等缺點(diǎn),難以滿(mǎn)足光刻機等集成電路制造裝備對復雜結構部件的使用要求。

    根據反應燒結碳化硅的工藝特點(diǎn),將待粘接零部件進(jìn)行預處理,并通過(guò)粘接料對制品進(jìn)行粘接,隨后再進(jìn)行反應燒結,使制品的連接與反應燒結同步完成。通過(guò)調節粘接料的組分、控制連接工藝,可實(shí)現復雜結構部件的致密、高強度、無(wú)縫隙粘接。

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